SMC真空組件有四個系列：

SMC ZM系列真空組件采用一體化結構，故結構緊湊、?。ê穸葍H為15.5mm）、輕（zui多組合400g）。因配管、配線、指示及調整旋鈕等全裝在側面，故可以多個組件集裝在一起，便于維護。因為吧真空發生器的接收管設計成前后兩個抽吸口，除保證zui大真空度達84kPa外，zui大吸入流量可增大40%。SMC ZM系列真空組件zui多可集裝10個。供氣口有單獨供氣和集中供氣兩種，排氣口為集中排氣式。

SMC ZX系列真空組件采用了模塊式結構，根據使用目的，可以自由組合成不同功能的真空組合元件。有真空發生器系統和真空泵系統兩類組合。 SMC ZX系列真空組件的結構緊湊、重量小（總組合才120g），故可直接安裝在執行元件上。特別適合于100G以下的電子元件、精密零件的搬運、裝配和粘接。

SMC ZR系列為大型真空發生器組件，有多種組合方式。特別適合搬運0.5~5Kg的電子零件和精密零件，系模塊式組合。噴嘴直徑從ф1到ф2.標準型極限真空度為84kPa，極限吸入流量為22~84L/min(ANR)。大流量型極限真空度為53kPa，極限吸入流量為42~105L/min(ANR)。供給閥和破壞閥也有多種組合形式供選用。

SMC ZL系列為三級抽吸的真空發生器組件，帶真空過濾器及消音器，還有帶真空計或真空壓力開關、供給閥、破壞閥的形式。噴嘴直徑為1.2mm。當供給壓力為0.4MPa時，極限真空度為84kPa，zui大吸入流量為100/min(ANR)。新型ZL212系列的3段接收管由上下兩個重疊成一體，zui大吸入流量可達200/min(ANR)。

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